構造（ダイヤフラムポンプ）
(1)液側ダイヤフラム(2)油側ダイヤフラム
(3)ピストン
(4)吐出弁
(5)吸入弁
(1)(2)ダイヤフラムは(3)ピストンに連結され、その往復運動により(5)吸入弁より吸入し、(4)吐出弁より吐出されます。
二重ダイヤフラム構造ですので、ダイヤフラムが破損した場合でも液とオイルが混入せず安全に検出され処置できます。
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構造（ダイアフラム式ガス圧縮機、真空ポンプ）
(1)ガス側ダイヤフラム(2)油側ダイヤフラム
(3)ピストン
(4)吐出弁
(5)吸入弁
(6)ダイヤフラム押エ
(7)ダイヤフラム破損検知孔
(1)ガス側ダイヤフラムが(6)ダイヤフラム押エにより(3)ピストンに連結され、(3)ピストンの往復運動により、(1)ガス側ダイヤフラムが往復運動をなし、それにより(5)吸入弁よりガスが吸入され(4)吐出弁よりガスが吐出されます。
二重ダイヤフラム式とは(1)ガス側ダイヤフラムと(2)油側ダイヤフラムの間を分離した物です。
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